Uppbygging Piezoresistive skynjara

Í þessum skynjara er viðnámsröndin samþætt á einkristölluðu sílikonþindinni með samþættingarferli til að búa til sílikon piezoresistive flís og jaðar þessarar flísar er fast pakkað í skelina og rafskautsleiðslurnar eru leiddar út. Piezoresistive þrýstingsnemi, einnig þekktur sem solid-state þrýstingsnemi, er frábrugðin límþreytumæli, sem þarf að finna ytri kraftinn óbeint í gegnum teygjanlega viðkvæma þætti, en finnur beint fyrir mældum þrýstingi í gegnum sílikonþind.

Önnur hlið kísilþindarinnar er háþrýstihola sem hefur samskipti við mældan þrýsting og hin hliðin er lágþrýstingshol sem hefur samskipti við andrúmsloftið. Almennt er kísilþindið hönnuð sem hringur með föstum jaðri og hlutfall þvermáls og þykktar er um það bil 20 ~ 60. Fjórar P óhreinindaviðnámsræmur eru dreifðar á staðnum á hringlaga kísilþindinni og tengdar í fulla brú, þar af tvær. eru í þrýstispennusvæðinu og hin tvö eru í togspennusvæðinu, sem eru samhverf með tilliti til miðju þindarinnar.

Að auki eru einnig ferningur sílikon þind og sílikon súluskynjari. Sílikon sívalur skynjari er einnig gerður úr viðnámsræmum með dreifingu í ákveðna átt kristalplans kísilhólksins, og tvær togspennuþolnar ræmur og tvær þrýstispennuþolnar ræmur mynda fulla brú.

Piezoresistive skynjari er tæki sem er gert með dreifingarviðnámi á undirlagi hálfleiðara efnis í samræmi við piezoresistive áhrif hálfleiðara efnis. Hægt er að nota undirlag þess beint sem mæliskynjara og dreifingarviðnámið er tengt í undirlagið í formi brúar.

Þegar undirlagið er vansköpuð af ytri krafti munu viðnámsgildin breytast og brúin mun framleiða samsvarandi ójafnvægi. Undirlagið (eða þindin) sem notuð eru sem piezoresistive skynjarar eru aðallega kísilskífur og germaníumskífur. Kísil piezoresistive skynjarar úr kísilskífum sem viðkvæm efni hafa vakið meiri og meiri athygli, sérstaklega solid-state piezoresistive skynjarar til að mæla þrýsting og hraða eru mest notaðir.