Uppbygging piezoresistive skynjara

Í þessum skynjara er viðnámsstrimillinn samþættur á einfrumum stallaðri sílikonþind með samþættingarferli til að búa til kísilpíezoresistive flís, og jaðar þessa flís er fastur pakkaður í skelina og rafskautsleiðslurnar eru leiddar út. Piezoresistive þrýstingskynjari, einnig þekktur sem þrýstingsskynjari í föstu ástandi, er frábrugðinn lím álagsmæli, sem þarf að finna fyrir utanaðkomandi krafti óbeint með teygjanlegum viðkvæmum þáttum, en finnur beinan mældan þrýsting í gegnum kísilþind.

Önnur hlið kísilþindarinnar er háþrýstingshol sem hefur samskipti við mældan þrýsting og hin hliðin er lágþrýstingshol sem hefur samskipti við andrúmsloftið. Almennt er kísilþindin hönnuð sem hringur með föstum jaðar og hlutfall þvermáls og þykktar er um það bil 20 ~ 60. Fjórir P -óhreinindi viðnámstrimlar eru dreifðir á staðnum á hringlaga kísilþindinni og tengdir í fullri brú, þar af tveir í þjöppunarstreitusvæðinu og hinir tveir eru í togstreitusvæðinu, sem eru samhverf með afstöðu til miðju miðju við miðju miðju.

Að auki eru einnig ferningur kísilþind og kísilsúluskynjari. Silikon sívalur skynjari er einnig úr viðnámstrimlum með dreifingu í ákveðna átt á kristalplani kísilhylkisins og tveir togstreitur viðnámstrimlar og tveir þjöppunarálagsstrimlar mynda fulla brú.

Piezoresistive skynjari er tæki sem er gert með dreifingarþol á undirlagi hálfleiðaraefnis í samræmi við piezoresistive áhrif hálfleiðara efnis. Hægt er að nota undirlag þess beint sem mælingarskynjari og dreifingarþolið er tengt í undirlaginu í formi brú.

Þegar undirlagið er aflagað með utanaðkomandi krafti munu viðnámsgildin breytast og brúin mun framleiða samsvarandi ójafnvægan framleiðsla. Undirlagið (eða þindin) sem notuð eru sem piezoresistive skynjarar eru aðallega kísilþurrkur og germanium skífur. Silicon piezoresistive skynjarar úr kísilþurrkum sem viðkvæm efni hafa vakið meiri og meiri athygli, sérstaklega solid-state piezoresistive skynjara til að mæla þrýsting og hraða eru mest notaðir.