Vélþrýstingskynjari 2cp3-68 1946725 fyrir Carter gröfu

Aðferð til að útbúa þrýstingskynjara, sem einkennist af því að samanstanda af eftirfarandi skrefum:

S1, sem veitir skífu með aftur yfirborði og framhlið; Að mynda piezoresistive ræma og mjög dópað snertiflæði á framan yfirborð skífunnar; Mynda þrýsting djúpt hola með því að eta aftur yfirborð skífunnar;

S2, sem tengir stuðningsblað aftan á skífuna;

S3, framleiðir blýholur og málmvír framan við skífuna og tengir piezoresistive ræmur til að mynda wheatstone brú;

S4, setur og myndar pasivation lag á framhlið skífunnar og opnunarhluta pasivation lagsins til að mynda málmpúða svæði. 2.. Framleiðsluaðferð þrýstingskynjarans samkvæmt kröfu 1, þar sem S1 samanstendur sérstaklega af eftirfarandi skrefum: S11: Að veita skífu með yfirborði og að framan og skilgreina þykkt þrýstingsnæmra filmu á skífunni; S12: jónígræðsla er notuð á framan yfirborði skífunnar, piezoresistive ræmur eru framleiddar með háhita dreifingarferli og snertissvæði eru mjög dópaðir; S13: setur og myndar hlífðarlag á framhlið skífunnar; S14: etsing og myndar þrýsting djúpt hola aftan á skífuna til að mynda þrýstingsnæman filmu. 3. Framleiðsluaðferð þrýstingskynjarans samkvæmt kröfu 1, þar sem skífan er SOI.

Árið 1962, Tufte o.fl. framleiddi piezoresistive þrýstingskynjara með dreifðum kísilpíezoresistive ræmum og kísil kvikmyndauppbyggingu í fyrsta skipti og hóf rannsóknir á piezoresistive þrýstingskynjara. Seint á sjöunda áratugnum og snemma á áttunda áratugnum leiddi útlit þriggja tækni, nefnilega kísil anisotropic etsing tækni, jónígræðslutækni og anodic tengingartækni, miklar breytingar á þrýstingsnemanum, sem gegndi mikilvægu hlutverki við að bæta afköst þrýstingskynjarans. Síðan á níunda áratugnum, með frekari þróun míkrómatstækni, svo sem anisotropic etsing, lithography, dreifingardóp, jónígræðslu, tengingu og húðun, hefur stærð þrýstingskynjara verið stöðugt minni, næmi hefur verið bætt og framleiðslan er mikil og afköstin eru frábær. Á sama tíma gerir þróun og notkun nýrrar míkrómats tækni þykkt þrýstingskynjara nákvæmlega stjórnað.