Vélþrýstiskynjari 2CP3-68 1946725 fyrir Carter gröfu

Aðferð til að útbúa þrýstiskynjara, sem einkennist af því að samanstanda af eftirfarandi skrefum:

S1, sem gefur oblátu bakflöt og framflöt; Mynda piezoresistive ræma og mjög dópað snertiflötur á framhlið skúffunnar; Mynda þrýstingsdjúpt holrúm með því að æta bakflöt disksins;

S2, sem tengir stuðningsblað aftan á oblátuna;

S3, framleiðir blýgöt og málmvíra á framhlið oblátunnar og tengir piezoresistive ræmur til að mynda Wheatstone brú;

S4, setur og myndar aðgerðarlag á framhlið skúffunnar og opnar hluta aðgerðarlagsins til að mynda málmpúðasvæði. 2. Framleiðsluaðferð þrýstiskynjarans samkvæmt kröfu 1, þar sem S1 samanstendur sérstaklega af eftirfarandi skrefum: S11: útvega skífu með bakfleti og framflöti, og skilgreina þykkt þrýstinæmrar filmu á skífunni; S12: jónaígræðsla er notuð á framhlið skúffunnar, piezoresistive ræmur eru framleiddar með háhita dreifingarferli og snertisvæði eru mjög dópuð; S13: setur og myndar hlífðarlag á framhlið skúffunnar; S14: æta og mynda þrýstingsdjúpt holrúm á bakhlið skúffunnar til að mynda þrýstingsnæma filmu. 3. Framleiðsluaðferð þrýstiskynjarans samkvæmt kröfu 1, þar sem skífan er SOI.

Árið 1962, Tufte o.fl. framleiddi piezoresistive þrýstingsnema með dreifðum kísil piezoresistive ræmum og kísilfilmu uppbyggingu í fyrsta skipti, og hóf rannsóknir á piezoresistive þrýstingsnema. Seint á sjöunda áratugnum og snemma á áttunda áratugnum leiddi útlit þriggja tækni, þ.e. sílikon anisotropic etsunartækni, jónaígræðslutækni og rafskauttengingartækni, miklar breytingar á þrýstiskynjaranum, sem gegndi mikilvægu hlutverki í að bæta frammistöðu þrýstiskynjarans. . Síðan 1980, með frekari þróun örvinnslutækni, eins og anisotropic ætingu, lithography, diffusion doping, jónaígræðsla, tenging og húðun, hefur stærð þrýstinemans stöðugt verið minnkað, næmi hefur verið bætt og framleiðsla er mikil og frammistaðan er frábær. Á sama tíma gerir þróun og beiting nýrrar örvinnslutækni það að verkum að filmuþykkt þrýstinemans er nákvæmlega stjórnað.