Gildir fyrir Passat eldsneyti common rail þrýstiskynjara 06E906051K

1. Aðferð til að mynda þrýstiskynjara, sem samanstendur af:

Að útvega hálfleiðara undirlag, þar sem fyrsta millilags rafeindalag, fyrsta millilags rafeindalag og annað millilags rafeindalag eru mynduð á hálfleiðara undirlaginu.

Neðri rafskautsplata í fyrsta millilags rafskautslaginu, fyrsta gagnkvæma rafskaut staðsett á sama lagi og neðri rafskautsplatan og með bili á milli.

Tengilög;

Mynda fórnarlag fyrir ofan neðri skautplötuna;

Mynda efri rafskautsplötu á fyrsta millilags rafskautslagið, fyrsta samtengingarlagið og fórnarlagið;

Eftir að fórnarlagið hefur verið myndað og áður en efri plötuna er mynduð, í fyrsta samtengingarlagið

Mynda tengigróp og fylla tengigrópina með efri plötunni til að tengja rafrænt við fyrsta samtengingarlagið;Eða,

Eftir að efri rafskautsplatan hefur verið mynduð myndast tengigróp í efri rafskautsplötunni og fyrsta samtengingarlagið, sem

Mynda leiðandi lag sem tengir efri rafskautsplötuna og fyrsta samtengingarlagið í tengigrópnum;

Eftir að hafa tengt efri plötuna og fyrsta samtengingarlagið rafmagnað, fjarlægt fórnarlagið til að mynda holrúm.

2. Aðferðin til að mynda þrýstiskynjara samkvæmt kröfu 1, þar sem í fyrsta laginu

Aðferðin til að mynda fórnarlagið á millilagsins rafræna lagið samanstendur af eftirfarandi skrefum:

Setja fórnarefnislag á fyrsta millilags rafræna lagið;

Mynstur fórnarefnislagsins til að mynda fórnarlag.

3. Aðferðin til að mynda þrýstiskynjarann ​​samkvæmt kröfu 2, þar sem ljóslitafræði og leturgröftur eru notuð.

Fórnarefnislagið er mynstrað með ætingarferli.

4. Aðferðin til að mynda þrýstiskynjara samkvæmt kröfu 3, þar sem fórnarlagið

Efnið er myndlaust kolefni eða germaníum.

5. Aðferðin til að mynda þrýstiskynjara samkvæmt kröfu 4, þar sem fórnarlagið

Efnið er myndlaust kolefni;

Ætslofttegundir sem notaðar eru við ætingu á fórnarefnislagið eru O2, CO, N2 og Ar;

Færibreyturnar í því ferli að æta fórnarefnislagið eru: flæðisvið O2 er 18 SCCM ~ 22 SCCM og flæðishraði CO er 10%.

Rennslishraði er á bilinu 90 SCCM til 110 SCCM, rennsli N2 er á bilinu 90 SCCM til 110 SCCM, og flæðishraði Ar.

Sviðið er 90 SCCM ~ 110 SCCM, þrýstisviðið er 90 mtor ~ 110 mtor, og hlutdrægni er

540w ~ 660w.