Gildir um Passat Fuel Common Rail Pressure Skynjari 06E906051K

1. Aðferð til að mynda þrýstingskynjara, sem samanstendur af:

Að útvega hálfleiðara undirlag, þar sem fyrsta millilandalaga lag, fyrsta millilandalaga lag og annað millilandalaga lag eru mynduð á hálfleiðara undirlaginu.

Neðri rafskautplata í fyrsta millilagalaga laginu, fyrsta gagnkvæman rafskaut staðsett á sama lagi og neðri rafskautplata og dreifð í sundur.

Tengja lög;

Mynda fórnarlag fyrir ofan neðri skautaplötuna;

Að mynda efri rafskautplötu á fyrsta millilandalaginu, fyrsta samtengingarlagið og fórnarlagið;

Eftir að hafa myndað fórnarlagið og áður en efri plötunni er myndað, í fyrsta samtengingarlaginu

Mynda tengingargróp og fylla tengingargrópinn með efri plötunni til að tengjast rafmagni við fyrsta samtengingarlagið; Eða,

Eftir að hafa myndað efri rafskautplötuna myndast tengingargróp í efri rafskautplötunni og fyrsta samtengingarlagið, sem

Mynda leiðandi lag sem tengir efri rafskautplötuna og fyrsta samtengingarlagið í tengingargrópnum;

Eftir að hafa tengt efri plötuna og fyrsta samtengingarlagið, fjarlægðu fórnarlagið til að mynda hola.

2.. Aðferðin til að mynda þrýstingskynjara samkvæmt kröfu 1, þar sem í fyrsta laginu

Aðferðin til að mynda fórnarlagið á millilögunarlaginu samanstendur af eftirfarandi skrefum:

Afhent fórnarefni lag á fyrsta millilandalögin;

Patterning fórnarefnislagsins til að mynda fórnarlag.

3. Aðferðin til að mynda þrýstingskynjarann ​​samkvæmt kröfu 2, þar sem ljósritun og leturgröftur eru notuð.

Fórnarefni lagið er mynstrað með ætingarferli.

4. Aðferðin til að mynda þrýstingskynjara samkvæmt kröfu 3, þar sem fórnarlagið

Efnið er myndlaust kolefni eða germanium.

5. Aðferðin til að mynda þrýstingskynjara samkvæmt kröfu 4, þar sem fórnarlagið

Efnið er myndlaust kolefni;

Ætandi lofttegundir sem notaðar eru við etsering fórnarefnislagsins eru O2, CO, N2 og AR;

Færibreyturnar í því að eta fórnarefni eru: rennslissviðið O2 er 18 sccm ~ 22 sccm og rennslishraði CO er 10%.

Rennslishraðinn er á bilinu 90 SCCM til 110 SCCM, rennslishraði N2 er á bilinu 90 SCCM til 110 SCCM og rennslishraði AR.

Sviðið er 90 sccm ~ 110 sccm, þrýstingssviðið er 90 mTOR ~ 110 mTOR og hlutdrægni krafturinn

540W ～ 660W。